魏哲家澄清：台积电已购入High-NA EUV光刻机，但尚未启用

台积电到底有没有买那台贵到离谱的新光刻机？答案是有，但舍不得用。董事长魏哲家在股东大会上亲自下场辟谣，没有“保守”，只是“心疼钱”。

这台ASML的High-NA EUV光刻机，单价3.8亿到4亿美元，是现款EUV的两倍多。魏哲家直言，设备太贵是暂不量产的主要原因。台积电的策略很务实：先把手里现有的EUV吃透，搭配多重图案化技术，足够应付先进制程的微缩需求，等经济账算清楚了再出手。

实际上，台积电早在2024年9月就接收了首台High-NA EUV，一直放在研发中心做下一代工艺的基础光刻技术研究。魏哲家强调，提前研发是为了确保未来投产时良率和产出效率能达标，但真要把这台4亿美元的大家伙搬上量产线，还得再等等。

对比之下，英特尔早已将High-NA EUV提上量产日程，而台积电选择先研发后投产的稳妥路线，延续了它一贯的成本纪律。魏哲家预计，只有当单次曝光能实现更细微线宽、且晶圆成本开始具备竞争力时，High-NA EUV才会自然进入生产体系。

说到底，这不是技术问题，是账本问题。台积电在等一个更划算的时机——毕竟，400亿美元的机器，不是买来摆着看的，但确实可以先摆着看看。