【新型光刻胶制备方法开发成功】

华东理工大学的庄黎伟副教授和约翰霍普金斯大学的迈克尔·萨帕希斯教授,这两位大神联手搞了个大新闻!他们带领一个国际团队,琢磨出一种新方法,能像“摊煎饼”一样,一层一层“摊”出非晶态沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜。

这“摊煎饼”的技术,学名叫做间歇性旋涂化学液相沉积,听着就很高大上。它厉害的地方在于,能精确控制薄膜的厚度和沉积速度,想要多厚就多厚,想要多快有多快。更牛的是,他们还用电子束刻蚀和超越极紫外光刻技术验证了这个方法的靠谱程度。

话说回来,这aZIF薄膜也不是什么新鲜玩意儿,早就被应用于先进光刻胶领域了。但是,想要大规模、高精度地制造这种薄膜可不容易。这次的新方法,无疑是给光刻工艺插上了翅膀,让它飞得更高、更远。这项研究已经发表在最新的《自然—化学工程》上了。#大厂科技动态#

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